使用范围

用途
本系列变容式无油真空泵特别适用于化工、制药行业使用，具有极强的
抽除100%的有机溶剂（如酒精、汽油、丁烷等）气体能力，也能确保长期可靠地连续工作，并且抽除的重要气体可以实现100%回收，重复使用。本系列产品安装了排液装置，可以使冷凝在泵腔内的冷凝液体逐级排除泵外，确保了泵的工作效率，延长了泵的使用寿命。

特点
清洁抽空，对环境无污染；
在流程腔内，部件间无内部接触，无油气污染；
抽除能力强、工作平稳、噪声低；
维护成本低。

配合使用
作为罗茨泵、分子泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵的前级泵配套，可组成清洁的无油中真空和无油高真空机组。

应用环境
化工实验室、真空蒸馏、真空分馏、真空浓缩、分子蒸馏；
光谱仪器、电子显微镜；
表面物理和分析仪器；
各种镀膜设备、退火炉、加热炉、空间研究；
电子管生产、热管生产、图像转换管、电子显像管；
光学器件的过程工艺、半导体器件过程工艺等、等离子刻蚀、化学气相沉积、分子束外延、离子注入；
真空干燥、真空冻干、真空烧结、液晶生产、真空冶炼；太阳能电力；国防科研。

 性能规格

主要性能参数